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PE100真空等離子清洗機

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PE-100等離子表面處理機

PE-100等離子表面處理系統是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學,科學研究機構,又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。

美國產PE-100實驗室等離子表面處理機
 

    PE-100等離子表面處理系統是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學,科學研究機構,又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。

產品特點:


1.體積小,臥式設計,可放置在實驗臺上或小推車上,方便靈活的移動。

2.性能可靠,“度量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接,有效處理面積達到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內并實現小批量生產。

3.配置靈活PE-100可配置不同的頻率及功率:100-460KHz/13.56MHz還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統上,可選擇PLC微電腦控制或更精準的全數字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

4.可以配置獨有專利的過程控制的溫控電極與RIE反應性等離子體處理系統。

5. 操作簡便,一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

6.安全保障:在小型設備中,唯一引入一鍵急停保護按鈕,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。







外部尺寸 432mm*711mm*762mm重量:73Kg
真空腔材質 耐用的焊接6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸 約305mm寬*356mm深*305mm高
電極尺寸 約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)
等離子發生器 300W@100-460KHz(可選配13.56MHz
供氣 質量流量控制器:O-50cc(連續可調)
壓力測量 Pirini真空計:0-1Torr
控制器 基于WINDOWS操作系統的控制系統
安全保障 一鍵急停按鈕
電源 220VAC,14A


附件(可選件)

抽氣裝置:推薦型號:6.5CFM  2級直驅真空油泵
300w/13.56Mhz可自動調節射頻發生器
一層電極
溫控電極
RIE反應性電極
可控速率氮氣自動吹掃裝置
靜電屏蔽裝置





樣品處理實例:LED燈基片  處理前后對比






 
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