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PE25實驗室等離子表面處理機

PE-25是專門針對于大學/科研機構研發的小批量樣品處理裝置,具有移動方便、多種配置功能、超高性能及穩定性、操作方便的特點。

美國產Plasma CleaningSystem
PE-25臺式實驗室等離子表面處理機



PE-25小型等離子表面處理設備是專門針對于大學,研究機構和工廠研發機構設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計,突出移動方便,多種配置功能和超高性能以及穩定性,操作方便的使用特性。

設備特點:


1.體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm),可放置在任何實驗臺上。

2.性能可靠,“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接,電極面積達到89mm*170mm,腔體與電極之間的間隙可到53mm,樣品放置空間大。

3.配置靈活,可配置不同的頻率及功率:50KHz,13.56MHz;控制系統可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

4.操作簡便,一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障:在小型設備中,唯一引入一鍵急停保護按鈕,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。







外部尺寸 356mm*368mm*457mm
真空腔材質 6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸 127mm*203mm
電極尺寸 89*178mm,間隙63mm
等離子發生器 功率max.400w(可調)
頻率:50KHz(可選配13.56MHz)
供氣 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
壓力測量 熱電偶真空計0-1Torr
控制器 PLC微電腦控制系統。
安全保障 一鍵急停按鈕
電源 220VAC,14A

附件(可選件)

抽氣裝置:推薦型號:5CFM 2級直驅真空油泵
•氧氣發生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
•50KHz/400w可調節射頻發生器,13.56MHz/125W/300W可調節射頻發生器自動阻抗匹配網絡電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝設備


高級配置:

•PC/筆記本電腦的控制系統:基于Windows操作系統,裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動系統操作,流程排序,多配方存儲,以及其他高級功能。
•質量流量控制器:附加質量流量控制器也可提供。
•氣流減壓裝置。





樣品處理實例(碳化鎢基底上的DLC涂層去除)




 
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