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MM-3A電鏡微操縱儀

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德國Kleindiek操縱儀

Kleindiek Nanotechnik操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的納米馬達,因此它最大的特點是能夠進行納米級精確移動,在保證納米級移動的同時其專利的設計可以同時做到毫米級的移動范圍。

德國Kleindiek操縱儀


德國Kleindiek Nanotechnik操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的納米馬達,因此它最大的特點是能夠進行納米級精確移動,在保證納米級移動的同時其專利的設計可以同時做到毫米級的移動范圍,整個操縱裝置全部由納米馬達驅動,從而保證了系統體積非常小,可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。



德國KleindiekNanotechnik生產的納米顯微操縱儀的突出特點:


納米操縱精確度:安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X,Y方向最小移動距離為5nm,在Z方向最小移動距離為0.5nm。

快慢可調的操作速度:可以選擇一個步進0.5nm,也可以選擇最大移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細操作完美地結合在一起。

緊湊的結構設計:MM3A體積小,可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統。

三維大空間操作范圍:X、Y方向可以做240度的旋轉,Z軸方向做12mm的伸長,MM3A可操作的空間范圍最大達100cm3。

幾乎無漂移:我們曾經做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片,持續一小時后通過對照片的分析得出,在排除電鏡電壓不穩定因素外,MM3A幾乎不產生漂移。

與電鏡的連接:MM3A安裝在加工好的平臺上,該平臺再固定在電鏡的樣品臺上,整個安放過程十分方便,幾分鐘就可完成,不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封,不會影響電鏡的真空。






技術參數:

Length/Width/Height60/22/25mm
OperatingrangeXY/Z240°/12mm
ScanrangeX/Y/Z20/15/1µm
MaxSpeedXY/Zupto10/2mm/s
ResolutionX10-7rad(5nm)
ResolutionY10-7rad(3.5nm)
ResolutionZ0.25nm
HysterisisdeviationZ<200nm
HysterisisAngle(α)Z<10°(0.2rad)
Lowesttemp273K
Highesttemp353K
Lowestpressure10-7mbar
Holdingforce1N
Holdingtorque3Nmm-4Nmm
LiftY5g
Signalresistance(probing)7.0Ω
Maxvoltage(probing)100V;Maxcurrent(probing)100mA






測量材料電學性能


 

在掃描電鏡中操作,進行斷裂試驗,微焊接


 


移動納米級微小顆粒

 



半導體失效分析



光闌定位儀




作為SPM用在SEM中






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